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Xiamen Minta Sci.&Tech.Co.,LTD.

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SUPRA55 场发射扫描电镜

SUPRA55 场发射扫描电镜
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SUPRA55 场发射扫描电镜
【技术参数】
分辨率:0.8nm@ 15KV    
                1.6nm @ 1KV 
                2.0nm @ 30KV(VP mode) 
放大倍数: 12 - 1,000,000x 
加速电压: 0.02 - 30 KV
探针电流: 4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA 可选) 
样品室:   330 mm (φ) x 270 mm (h) 
样品台:   5轴优中心全自动 
                   X = 130mm 
                   Y = 130 mm 
                   Z = 50mm 
                   T = -3 to 70° 
                   R = 360°连续旋转 
系统控制:基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
 
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